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基于流体二维振动超精密抛光方法对石英玻璃进行了抛光实验研究，将超声波作为振动源，驱动抛光液在水平和垂直两个方向耦合振动实现对工件的抛光。测试了振动场中的声强，讨论了不同输入电压对声强的影响。分析了不同流场状态、工件装夹方式、磨料粒度以及抛光时间对抛光效果的影响，并得出了一些基本规律。
流体二维振动超精密抛光实验研究
【摘 要】
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基于流体二维振动超精密抛光方法对石英玻璃进行了抛光实验研究，将超声波作为振动源，驱动抛光液在水平和垂直两个方向耦合振动实现对工件的抛光。测试了振动场中的声强，讨论了不
【机 构】
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广东工贸职业技术学院,广东机电职业技术学院,广东工业大学
【出 处】
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现代制造工程
【发表日期】
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2014年6期
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