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本文给出了根据ＣＶ数据用数值方法反求杂质浓度的基本算法，并研究了此算法所遇到的不收敛和不确定问题。结果表明，数值ＣＶ方法收敛的本质原因是此方法的唯一性问题。
数值CV方法的唯一性问题
【摘 要】
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本文给出了根据ＣＶ数据用数值方法反求杂质浓度的基本算法，并研究了此算法所遇到的不收敛和不确定问题。结果表明，数值ＣＶ方法收敛的本质原因是此方法的唯一性问题。
【机 构】
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复旦大学电子系,贵州大学物理系,东南大学微电子中心
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1995年3期
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