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期刊论文
SrTiO3薄膜的掠入射X射线衍射研究
SrTiO3薄膜的掠入射X射线衍射研究
来源 :淮阴师范学院学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:xieqi509
【摘 要】
:
采用掠入射X射线衍射技术研究了外延SrTiO3薄膜面内晶格应变随着深度的分布.研究发现不管是较薄的还是较厚的薄膜其面内晶格应变随深度的分布都不是连续变化的,而是可以分为
【作 者】
:
翟章印
【机 构】
:
淮阴师范学院物理与电子电气工程学院
【出 处】
:
淮阴师范学院学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2011年1期
【关键词】
:
掠入射X射线衍射
面内晶格参数
应变深度分布
grazing incidence X-ray diffraction
plain lattice parame
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采用掠入射X射线衍射技术研究了外延SrTiO3薄膜面内晶格应变随着深度的分布.研究发现不管是较薄的还是较厚的薄膜其面内晶格应变随深度的分布都不是连续变化的,而是可以分为三个区域,即表面区、应变驰豫区、界面区.
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