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计算了四层复合结构的薄膜体声波谐振器（FBAR）的输入阻抗谱，各层采用的材料分别是Al／AlN／Al／Si，其尺寸为0．8μm／1．9μm／0．8μm／100μm，得出其有效机电耦合系数k^2eff随谐振模式的分布情况，从而得到最大k^2eff的独特谐振模式在1～2GHz为第40阶谐振模式。从理论上探讨了各层的尺寸及材料属性对该独特谐振模式及其频移的影响，以及串联谐振品质因数FOM等滤波器设计的主要性能参数在该模式下的分布情况。实验结果表明，工作在独特谐振模式下的FBAR的性能依赖于各层材料尺寸，当压电层