【摘 要】
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运动控制系统在离子注入机系统中起到晶元机械传输、高精度位置控制、高精度的速度控制的作用。同时,位置测量、基于位置的数据采集和工艺流程的实施,均离不开运动控制技术的有力支撑。通过对运动控制基本原理的论述,结合PMAC光纤伺服系统、硬件系统架构和组成,完成了离子注入机的运动控制系统实施方案,并重点就全闭环、晶元定向和晶元MAP等关键技术予以展开。
【机 构】
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运动控制系统在离子注入机系统中起到晶元机械传输、高精度位置控制、高精度的速度控制的作用。同时,位置测量、基于位置的数据采集和工艺流程的实施,均离不开运动控制技术的有力支撑。通过对运动控制基本原理的论述,结合PMAC光纤伺服系统、硬件系统架构和组成,完成了离子注入机的运动控制系统实施方案,并重点就全闭环、晶元定向和晶元MAP等关键技术予以展开。
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