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硅片是半导体器材的主要元件，在印刷集成电路及微型集成仪表中有着广泛应用。文章在分析物理一化学加工硅片方法存在的问题的基础上，讨论了磨料悬浮磨削及粘接磨料磨削硅片的方法，以及两种磨削采用的装置及其主要运动参数选择和达到的质量指标。
半导体材料硅片的磨削方法及装置
【摘 要】
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硅片是半导体器材的主要元件，在印刷集成电路及微型集成仪表中有着广泛应用。文章在分析物理一化学加工硅片方法存在的问题的基础上，讨论了磨料悬浮磨削及粘接磨料磨削硅片的方
【机 构】
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河南机电高等专科学校教务处
【出 处】
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河南机电高等专科学校学报
【发表日期】
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2006年4期
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