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离子束辅助沉积MoS2—Ag复合膜氧化行为的研究
离子束辅助沉积MoS2—Ag复合膜氧化行为的研究
来源 :四川大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:t920215
【摘 要】
:
用XPS分别检测了在相对湿度60%-75%的室温环境下存放60d、100%湿度环境下存放45d以及430℃高温加热1h的离子束辅助MoS2-Ag复合膜中的MoS2N BB XFSQ
【作 者】
:
王培录
刘仲阳
【机 构】
:
四川大学原子核科学技术研究所
【出 处】
:
四川大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1999年6期
【关键词】
:
离子束辅助沉积
复合膜
氧化
硫化钙
银
XRD
XPS
ionbeamassisteddeposition
MoS2Agcompositedfilm
ox
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用XPS分别检测了在相对湿度60%-75%的室温环境下存放60d、100%湿度环境下存放45d以及430℃高温加热1h的离子束辅助MoS2-Ag复合膜中的MoS2N BB XFSQ
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