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本文通过对荣华二采区10<
High Growth Rate of Microcrystalline Silicon Films Prepared by ICP-CVD with Internal Low Inductance
【摘 要】
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本文通过对荣华二采区10
【机 构】
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Lab of Plasma Physics and Materials, Beijing Institute of Graphic Communication,Beijing 102600, Chin
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2014年5期
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