Formation of nanocrystalline microstructure in arc ion plated CrN films

来源 :中国有色金属学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shigoujushi

【摘要】

：

Applying negative bias voltages caused significant microstructure changes in arc ion plated CrN films. Nanocrystalline microstructures were obtained by adjustin

【作者】

：

Qi-min WANG Se-Hun KWON Kwang-

【机构】

：

NationalCoreResearchCenterforHybridMaterialsSolution,SchoolofMaterialsScienceandEngineering

【出处】

：

中国有色金属学报：英文版

【发表日期】

：

2011年A01期

【关键词】

：

多弧离子镀微观结构铬薄膜氮化铬纳米晶高分辨透射电子显微镜偏置电压离子轰击 CrN thin films deposition microstruc

【基金项目】

：

Project（2010-0001-226） supported by the National Core Research Center （NCRC） Program through the National Research Foundation of Korea funded by the Ministry of Education, Science and Technology, Proj

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Applying negative bias voltages caused significant microstructure changes in arc ion plated CrN films. Nanocrystalline microstructures were obtained by adjusting the negative bias voltage. Structural characterizations of the films were carried out using X

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