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详尽介绍了椭偏法测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法，采用一种数字迭代计算方法，由测量得到的起偏角P和检偏角A直接算出所测薄膜的折射率和厚度，经过数值试验及标准值对比，由此编制的计算程序具有准确，快速，方便的特点。
椭偏测厚仪测量结果的计算机数据处理
【摘 要】
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详尽介绍了椭偏法测量单层透明薄膜折射率和厚度的方法，采用一种数字迭代计算方法，由测量得到的起偏角P和检偏角A直接算出所测薄膜的折射率和厚度，经过数值试验及标准值对比，由此
【机 构】
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暨南大学物理系
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2003年2期
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