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在摩擦学研究的基础上，综合评述与探讨了物理气相沉积薄膜摩擦和磨损的机械－化学作用机理；根据这种机理分析讨论了对物理气相沉积润滑和耐磨薄膜的基本要求；提出了实现这些要求的物理气相沉积的技术基础
物理气相沉积减摩与耐磨薄膜
【摘 要】
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在摩擦学研究的基础上，综合评述与探讨了物理气相沉积薄膜摩擦和磨损的机械－化学作用机理；根据这种机理分析讨论了对物理气相沉积润滑和耐磨薄膜的基本要求；提出了实现这些要求的
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放研究实验室
【出 处】
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摩擦学学报
【发表日期】
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1996年03期
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