【摘 要】
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一、引言 测量半导体材料电阻率的方法很多,四探针是最重要最常用的,它不仅简单可靠,而且是直接测量,可作为校准其它方法的标准。对于薄层样品,例如薄外延或浅离子注入样品
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一、引言 测量半导体材料电阻率的方法很多,四探针是最重要最常用的,它不仅简单可靠,而且是直接测量,可作为校准其它方法的标准。对于薄层样品,例如薄外延或浅离子注入样品。经金属线状四探针测量之后,薄层往往遭到破坏,甚至引起短路或穿透,如果用水银探针与硅接触,则测量之后,样品完好无缺,不留下任何损伤。实际上,用水银探针进行肖特基C
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