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为了提高微纳制造装备的定位精度,从提高桥架结构的刚度出发,以ANSYS软件为开发工具,提出了一种新型的拱形桥架结构。文中先从概念设计出发,设计出桥架机构的基本结构,然后利用ANSYS软件分析桥架的结构参数(如桥架厚度、立柱宽度、圆弧半径、斜面宽度和斜面高度)对刚度的影响,最终确定优化后的桥架模型。利用ANSYS软件对桥架结构进行静力分析和模态分析,通过对比不同设计方案的仿真结果,表明了新型桥架结构的优越性。