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GaAs衬底与外延层质量，尤其是晶体的完整性严重影响着以其为材料的半导体器件的性能，而超声AB的腐蚀法是一种能准确快速的显示GaAs体缺陷与器件外延层缺陷的检测法，本文提供了超声AB的腐蚀法显示GaAs体缺陷与外延层缺陷的实例照片与工艺条件。并对其进行了分类，充分显示了它良好的可靠性。
GaAs晶体缺陷与外延层缺陷显示研究
【摘 要】
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GaAs衬底与外延层质量，尤其是晶体的完整性严重影响着以其为材料的半导体器件的性能，而超声AB的腐蚀法是一种能准确快速的显示GaAs体缺陷与器件外延层缺陷的检测法，本文提供了超
【机 构】
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河北工业大学
【出 处】
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河北工业大学成人教育学院学报
【发表日期】
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2000年1期
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