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亚微纳（Aviza）公司在今年的Semicon China展会上重点展出了其ALD、蚀刻、PVD、CVD等设备，这已经是亚微纳连续五年参加Semicon China了。目前，该公司在全球已经安装了约2500台设备系统，而其中有60％是安装在亚洲。
亚微纳：用先进技术与客户需求保持同步
【摘 要】
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亚微纳（Aviza）公司在今年的Semicon China展会上重点展出了其ALD、蚀刻、PVD、CVD等设备，这已经是亚微纳连续五年参加Semicon China了。目前，该公司在全球已经安装了约2500台设备
【机 构】
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《中国集成电路》记者
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2008年4期
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