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Metryx提供具有原子层测量精度的工具
Metryx提供具有原子层测量精度的工具
来源 :可编程控制器与工厂自动化(PLC FA) | 被引量 : 0次 | 上传用户:mater
【摘 要】
:
Metryx推出一种手动非破坏性研发测量工具,其精度可达到原子层测量至7埃氧化物。这种非非常容易使用的Metryx监视工具可用于MEMS和半导体研发产品,以原子层精度测量材料特性。
【出 处】
:
可编程控制器与工厂自动化(PLC FA)
【发表日期】
:
2005年10期
【关键词】
:
测量精度
测量工具
原子层
非破坏性
MEMS
材料特性
精度测量
氧化物
半导体
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Metryx推出一种手动非破坏性研发测量工具,其精度可达到原子层测量至7埃氧化物。这种非非常容易使用的Metryx监视工具可用于MEMS和半导体研发产品,以原子层精度测量材料特性。
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