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离子注入是将具有高动能的掺杂离子引入到半导体中的一种工艺,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。将离子注入技术用于ZnO薄膜p型掺杂,其可重复性和稳定性良好。
离子注入技术及其在ZnO薄膜掺杂中的应用
【摘 要】
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离子注入是将具有高动能的掺杂离子引入到半导体中的一种工艺,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型。将离子注入技术用于ZnO薄膜p型掺杂,其可重复性和稳定性良好。
【机 构】
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重庆师范大学
【出 处】
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重庆科技学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年1期
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