【摘 要】
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采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆（Zr-Ti—N）复合薄膜材料，并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能．结果表明：随着Ti含量增加，Zr—Ti—N薄膜硬度有所提高；在Ti含量为18．7
【机 构】
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长荣大学会计信息系,成功大学机械工程系,建国科技大学机电光系统研究所
【基金项目】
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台湾省科学委员会资助项目（NSC-92-2212-E-006-127）.
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采用非平衡磁控溅射技术制备含不同钛含量的氮化锆（Zr-Ti—N）复合薄膜材料，并研究薄膜基本特性及其摩擦磨损性能．结果表明：随着Ti含量增加，Zr—Ti—N薄膜硬度有所提高；在Ti含量为18．7at．％时，薄膜的硬度达到最大值2483HK0.025；当添加16．5at．％Ti时，硬度值略有降低，但临界载荷最高，耐磨性最佳．
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