切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
溅射气体和基板偏压对溅射Al2O3薄膜内应力和密度的影响
溅射气体和基板偏压对溅射Al2O3薄膜内应力和密度的影响
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiyouyou
【摘 要】
:
在纯Ar和Ar+10%O2两种工作气体及不同基板偏压条件下,用射频溅射方法制备了Al2O3薄膜,测量了每个样品的内应力和密度,并对部分样品用X射线光电子谱进行了结构分析。结果表明,薄膜呈非晶态,薄膜的应
【作 者】
:
章吉良
李明
【机 构】
:
上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1996年1期
【关键词】
:
射频溅射
薄膜
内应力
密度
氧化铝
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
在纯Ar和Ar+10%O2两种工作气体及不同基板偏压条件下,用射频溅射方法制备了Al2O3薄膜,测量了每个样品的内应力和密度,并对部分样品用X射线光电子谱进行了结构分析。结果表明,薄膜呈非晶态,薄膜的应内应力均为压力,并给出了气体种类和偏压对膜的密度和应力的影响。
其他文献
离散制造业生产车间MES系统的研究与应用
制造执行系统(MES)是将现代化的信息技术应用于车间管理中的体现,是处于企业下层的车间现场控制与上层的生产管理系统之间的服务于生产全过程的信息管理系统。近年来,德国提
学位
MES
离散制造
生产调度
信息集成
数据采集
重金属在水泥熟料中的挥发与固化
以铅锌渣作为替代原料制备水泥熟料易引入重金属元素,利用微波消解、原子吸收光谱方法研究Pb、Cd、Cu、Zn在熟料烧成过程中的挥发与固化行为。结果表明:温度升高,Pb、Cd挥发
期刊
重金属
水泥熟料
铅锌渣
挥发
固化
加大高速公路资金投入坚持发展投资多元化
结合当前高速公路建设资金的筹措现状,就如何更好地解决江西省高速公路建设资金筹措问题提出了相应的办法和对策,为将来实践中的进一步优化和细化提供了基础。
期刊
高速公路
资金筹措
投资多元化
expressway capital-raising diversified investment
公路旧桥加固技术探讨
结合近年来对超限运输桥梁及大中型桥梁的加固实践,分别对旧桥上部结构、下部结构、旧桥基础、桥面铺装等部位的加固处理方法进行了介绍,以提高旧桥的承载能力,确保公路旧桥
期刊
公路旧桥
加固技术
桥面铺装
塞缝灌浆
old road bridge technique of strengthening layout of bridge
世界反美主义及其命运
冷战结束特别是伊拉克战争以来,美国的国际形象越来越差,世界各国害怕和厌恶美国对外政策的情绪明显加强。为此,一些美国学者认为美国已经步入反美主义时代,如何应对世界范围
期刊
反美主义
霸权主义
普遍主义
美国外交
国际形象
旋转电极电解加工理论基础
旋转电极电解加工属于特种加工的特种加工的一种,这项技术在最近几十年才兴起,它具备很多传统切割技术没有的优点,可以更好的切割形状质量特殊的工件。本文主要介绍了电解加
期刊
电解加工
电解线切割
旋转电极
某基坑多形式综合支护应用分析
在分析基坑支护工程设计原则、支护特征的基础上,结合工程实例,应用基坑支护计算理论对基坑支护结构进行理论计算和验证,并探讨了采用多形式综合支护方法有益的结论和建议,以
期刊
基坑支护
支护形式
结构设计与验算
shoring of the trench
shoring model
structural design and ch
从构建和谐社会重要意义谈住房保障制度
叙述了构建和谐社会的重要意义及构建和谐社会对住房保障制度的要求,通过对现行住房保障制度的分析,指出其政策初衷及实际实施中出现的问题,并提出相关建议。
期刊
经济适用房
住房保障
房地产市场
和谐社会
economic and suitable house housing security real estate m
不同控制治疗方案对哮喘儿童气道炎症的影响
目的研究两种不同控制治疗方案对哮喘儿童气道慢性炎症的影响。方法选择2014年10月~2018年3月门诊就诊的6~14岁诊断为轻-中度哮喘或咳嗽变异性哮喘的患儿71例采用不同控制方
期刊
支气管哮喘
气道炎症
控制治疗
儿童
低温气相硅外延前氩微波等离子原位溅射清洗对薄膜界面的损伤
本文研究了超高真空低温硅外延中,ECR微波等离子原位溅射清洗对外延层界面损伤的情况。超高分辨透射电镜照片表明,界面引起的损伤是较严重的损伤层的宽度与衬底偏压的高低和溅射时
期刊
低温硅外延
溅射清洗
界面损伤
薄膜
界面
Low-temperature Si epitaxy
ECR plasma
Sputtering cleanin
与本文相关的学术论文