电泳沉积法制备三氧化钨薄膜

来源 :安徽工业大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ustcer08005
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研究了由WO3溶胶采用电泳沉积法制备WO3薄膜,讨论了电流密度、溶胶陈化时间、溶胶浓度、溶胶pH值对制备WO3薄膜厚度的影响;及膜厚与沉积时的电流密度对薄膜与基底结合力的影响。通过TGA—DTA和IR分析探讨了固体薄膜在热处理过程中的结构变化。
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