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＂超越摩尔定律＂时代将继续推动半导体行业的创新和发展。因利用光刻技术缩小半导体尺寸的成本日益高昂且难以实施,业界将重点关注新材料、新器件和新封装结构,从而强化互补金属氧化物半导体（CMOS）技术,增加器件功能,
“超越摩尔定律”推动中国微技术和纳米技术增长
【摘 要】
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＂超越摩尔定律＂时代将继续推动半导体行业的创新和发展。因利用光刻技术缩小半导体尺寸的成本日益高昂且难以实施,业界将重点关注新材料、新器件和新封装结构,从而强化互补金属
【机 构】
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EVGroup执行技术总监兼执行董事会
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2017年1期
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