基于有限带宽期望模型的超精密机床伺服跟踪控制研究

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为实现超精密机床的高速高精度跟踪,提出了一种利用未来信息的有限带宽期望模型。该模型的幅频特性在期望频段内为1,其它频段内为0,在所有频段内相位滞后恒为零。系统设计中,采用了反馈+前馈补偿形式的控制器近似实现该模型。将该控制器应用于实际系统中,得到了跟踪正弦信号时系统的最大稳态跟踪误差不超过±25nm的控制精度。
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