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硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试
硅压阻式微压力传感器的研制及性能测试
来源 :功能材料与器件学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Garyzhaoqi
【摘 要】
:
硅微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器.进一步研制小体积高精度的传感器,扩大其应用范围已势在必行.本工作主要
【作 者】
:
蒋庄德
赵玉龙
【机 构】
:
西安交通大学精密工程研究所
【出 处】
:
功能材料与器件学报
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
微压力传感器
掩膜版
研制
性能测试
micro pressure sensormaskdesign
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硅微压力传感器由于体积小、重量轻、精度高、成本低等特点应用很广泛,在某些领域已取代传统的传感器.进一步研制小体积高精度的传感器,扩大其应用范围已势在必行.本工作主要从提高传感器的性能角度来分析掩膜版设计中的重要问题,并对设计制作的传感器进行静态测试,取得了满意的实验结果.
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