S型双声路声表面波质量传感器

来源 :压电与声光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dsclq

【摘要】

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报道了在128°y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为122 MHz的S型双声路质量传感器,它能有效地克服环境温度的影响.阐述了该传感器的器件结构及设计,并采

【作者】

：

章安良朱大中

【机构】

：

宁波大学信息学院

【出处】

：

压电与声光

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

声表面波传感器质量沉积效应多条耦合器 surface acoustic wave sensor mass loading effect multist

【基金项目】

：

国家自然科学基金，浙江省自然科学基金

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报道了在128°y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为122 MHz的S型双声路质量传感器,它能有效地克服环境温度的影响.阐述了该传感器的器件结构及设计,并采用延迟线振荡的方式对器件的性能进行测试.测试结果表明,该器件相对温度系数良好,仅约为10 Hz/℃.器件的质量沉积效应灵敏度约为3.8 GHz·crn2/g.

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