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在一定条件下具有单相微观组织的L12型[Ni3Al,Ni3(Si,Ti),Co3Ti],L10型(TiAl)和B2型(FeAl,Fe3Al,NiAl)金属间化合物均表现出超塑性行为.其中,L12型和L10型金属间化合物的超塑性变形机制为晶界的滑移,而B2型金属间化合物的超塑性变形则来自于变形过程中发生的动态回复及再结晶.超塑性变形机制的多样性是由于金属间化合物在微观组织及位错结构上(如反向畴界能、层错能和化学成分差异、超位错及界面位错等)比普通金属合金要复杂得多.