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以散射光理论为基础，研制了非接触式表面粗糙度测量系统，该系统由ＣＣＤ传感器，光学系统和计算机系统构成。其优点是灵敏度高，测量范围宽、精度高，适合于不同加工方法形成的表面，可以实现实时，在线，动态检测和控制。
非接触式表面粗糙度测量仪
【摘 要】
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以散射光理论为基础，研制了非接触式表面粗糙度测量系统，该系统由ＣＣＤ传感器，光学系统和计算机系统构成。其优点是灵敏度高，测量范围宽、精度高，适合于不同加工方法形成的表面，可以实现
【机 构】
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哈尔滨科学技术大学,黑龙江省寒地建筑科学研究院
【出 处】
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哈尔滨科学技术大学学报
【发表日期】
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1995年6期
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