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本文从对准象及其对精度的影响这二个方面,对明场和暗场二种光学对准方式作比较分析,指出暗场对准是一种理想的对准方式,并阐述了引起这一结果的原因。
明场和暗场光学对准比较研究
【摘 要】
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本文从对准象及其对精度的影响这二个方面,对明场和暗场二种光学对准方式作比较分析,指出暗场对准是一种理想的对准方式,并阐述了引起这一结果的原因。
【机 构】
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苏州大学激光室
【出 处】
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苏州大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1994年3期
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