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XRD摇摆曲线在单晶基片质量检测中的应用
XRD摇摆曲线在单晶基片质量检测中的应用
来源 :现代仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xczsb
【摘 要】
:
本文试图采用倒易空间解释XRD摇摆曲线的物理意义,拓展摇摆曲线的使用范围,并提出用于检测单晶基片质量的几个方法。(1)基片表面机加工损伤程度分析;(2)基于表面缺陷分析;(3)切偏角的测定。将
【作 者】
:
宁永功
姬洪
【机 构】
:
成都电子科技大学材料分析中心
【出 处】
:
现代仪器
【发表日期】
:
1999年4期
【关键词】
:
摇摆曲线
切偏角
X射线衍射
单晶基片
质量检测
rocking curve reciprocal space defect damage deviation
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本文试图采用倒易空间解释XRD摇摆曲线的物理意义,拓展摇摆曲线的使用范围,并提出用于检测单晶基片质量的几个方法。(1)基片表面机加工损伤程度分析;(2)基于表面缺陷分析;(3)切偏角的测定。将这些方法用于超导膜基片实际检测中,测出样品基片表面损伤程度的差异可达10倍左右;
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