弧矢压弯晶体的力学性能与形位误差分析

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介绍了利用柔性铰链机构对弧矢聚焦双晶单色器中第二晶体进行动态压弯的工作原理,优化了压弯机构和晶体的几何参数,然后应用有限元方法模拟分析压弯装置与晶体的力学性质,最后分析了弯晶的形位误差并计算因此造成的弯晶光束入射角的变化。分析结果表明:替换后单色器的水平接收角由1mrad增加到3mrad,样品上光斑的水平半高宽由12.5mm减小到2.5mm。优化后晶体因压弯产生的鞍形曲率半径约为弧矢曲率半径的1700倍,造成的入射角误差为2.2μrad;压弯装置上的最大平均应力约为800MPa,并由此确定了以铍青铜作为压
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