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该电源可实现电压0～300V 连续可调,分辨率为75mV(当电压变化100mV 时,位移变化0.01μm),输出纹波小于5mV,电源频响达500Hz,电压稳定性好,运行2h 后,输出变化小于0.03%。它具有手动和计算机程控两种功能。
压电陶瓷微量进给机构精密驱动电源的设计
【摘 要】
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该电源可实现电压0～300V 连续可调,分辨率为75mV(当电压变化100mV 时,位移变化0.01μm),输出纹波小于5mV,电源频响达500Hz,电压稳定性好,运行2h 后,输出变化小于0.03%。它具有
【机 构】
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哈尔滨工业大学,哈尔滨工业大学
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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1993年5期
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