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微波对n型硅半导体材料中PN结扩散的加速作用
微波对n型硅半导体材料中PN结扩散的加速作用
来源 :洛阳工业高等专科学校学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:flyhiger
【摘 要】
:
用微波加热方法进行了硼—铝杂质在n型硅半导体材料中扩散PN结的试验。并与现行工业扩散的结果作了对比。从而发现,微波加热方法可以把扩散速度加快三倍以上。
【作 者】
:
史尚钊
孟繁萍
【机 构】
:
洛阳工业高等专科学校材料工程系,洛阳市半导体二厂
【出 处】
:
洛阳工业高等专科学校学报
【发表日期】
:
1997年3期
【关键词】
:
微波加热
半导体
扩散
microwave heating
semiconductors
diffusion
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用微波加热方法进行了硼—铝杂质在n型硅半导体材料中扩散PN结的试验。并与现行工业扩散的结果作了对比。从而发现,微波加热方法可以把扩散速度加快三倍以上。
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