【摘 要】
：
在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各
【机 构】
：
五邑大学机电工程学院; 江门市CAD/CAM工程技术研发中心; 五邑大学轨道交通学院;
【基金项目】
：
国家科技重大专项资助项目(No.2011ZX02403-004)
论文部分内容阅读
在半导体制造领域中,IC装备工艺腔室流场的均匀性决定镀膜的质量。本文运用二维激光多普勒测速仪(LDV)对真空腔室进行内流场测量,研究了在不同进气量、不同腔室压强下,腔室各平面流速的分布规律。研究表明,粒子浓度和背景噪声是影响腔室流速测量的两大关键因素,采用四种方法有效地降低了背景噪声对信号的干扰;通过大量实验得出了LDV有效测量腔室流速的压力范围,以及腔室压强、进气量与流速之间的关系;验证了腔室内二级匀气装置具有均匀布气的功能。研究结果能为IC装备的设计提供数据支持。
其他文献
以我国大中型工业企业为案例 ,实证研究了我国纺织业科技能力建设的行业特征和存在的问题 ,为我国企业能力建设和科技政策创新决策提供参考
本文就移动支付的安全问题、最新动态以及未来发展邀请业内精英进行了深度探讨。
目的探讨肝硬化与糖代谢异常的关系。方法对本院73例肝硬化患者,观察不同级别肝损害与糖代谢异常相关性,以及糖代谢异常时肝硬化并发症的相关因素进行回顾性分析。结果根据肝
基于对FPGA系统失效机理的深入分析,提出了软件测试技术在FPGA测试中的应用,并分析了其可行性;通过对比FPGA与软件系统的异同,归纳出FPGA特有的测试要求,从而在软件测试技术
目的探讨急性酒精中毒内科急诊治疗的临床效果。方法随机收集我院急诊科于2012年12月~2014年12月收治急性酒精中毒患者66例,根据数字表法分为治疗组与对照组,各33例,对照组给
<正>医学论文是记录医学科学技术进步的文献,是重要信息源,是医学科技研究工作不可缺少的组成部分。为了统一科学技术报告、学位论文的撰写和编辑的格式,便利信息系统的收集
<正> 一、引言芜菁花叶病毒(T_PMV)发现于1921年,但其研究进展甚慢.究其原因主要是该病毒在分离纯化过程中极易集聚,得率低,病毒本身很不稳定.到七十年代,仍未找到圆满解决芜
通过对国内外辅助喷嘴的发展情况和技术现状的对比分析,剖析了节能、提速、减磨型辅助喷嘴的设计机理,指出了国内辅助喷嘴的开发途径。
电影《窈窕淑女》中的表演和唱段堪称经典,上映半个世纪以来仍令观众百看不厌。同时,从英语语音教学的角度看,它的启示作用也是不言而喻的。从语言学家希金斯教授和卖花女伊
近年来,我国山丘区洪水灾害频发并造成重大的人员及财产损失,山丘区洪灾防治已成为我国当前减灾防灾工作的重要内容。通过分析我国山丘区洪水成灾特征与成因,提出了山丘区洪