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采取ＢＥＳＯＩ技术形成带真空腔的绝压式结构，利用凸型梁使形变膜的应力放大，研制出在电源电压５Ｖ时，具有输出灵敏度为２５７．４ｍＶ／１０＾５Ｐａ的绝压式负压传感器芯片。其非线性度约０．１％，未加负压时，输出电压的温漂约４００×４０＾－６／℃（ＦＳ）。
绝压式BESOI负压传感器研制
【摘 要】
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采取ＢＥＳＯＩ技术形成带真空腔的绝压式结构，利用凸型梁使形变膜的应力放大，研制出在电源电压５Ｖ时，具有输出灵敏度为２５７．４ｍＶ／１０＾５Ｐａ的绝压式负压传感器芯片。其非线性度约０．１％，未加负压时，输出电压的温漂约４００
【机 构】
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江苏石油化工学院功能材料实验室,常州半导体厂,中国科学院上海冶金研究所传感技术国家实验室
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1995年2期
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