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从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理，介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用,分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝面上光强分布的影响，得到了积分棒尺寸与刀口狭缝面上照明视场的关系，为步进扫描投影光刻系统中积分棒的设计提供了依据。
积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用
【摘 要】
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从几何光学角度讨论了积分棒的匀光原理，介绍了积分棒在步进扫描投影光刻系统中的应用,分析了积分棒入射光束的数值孔径对刀口狭缝面上光强分布的影响，得到了积分棒尺寸与刀口
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室,中国科学院研究生院
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2006年7期
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