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1前言 关于LSI的高密度化,现以DRAM为例来说,则是从16M开始至64M出厂样品.对于逻辑电路来说,0.5μm级的产品化正在开始. ……
0.4～0.25μm时代的电极布线形成技术
【摘 要】
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1前言 关于LSI的高密度化,现以DRAM为例来说,则是从16M开始至64M出厂样品.对于逻辑电路来说,0.5μm级的产品化正在开始. ……
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2002年5期
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