Zara Domain不良的研究与改善

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【摘要】

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Zara Domain是TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)行业TN型产品中常见的不良,严重影响着产品的良率。本文通过对101.3mm(3.97in)TN产品的大量实验,系统分

【作者】

：

左爱翠高荣荣陈维诚滕玲岳麓汤列金

【机构】

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合肥京东方光电科技有限公司Cell分厂

【出处】

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液晶与显示

【发表日期】

：

2019年3期

【关键词】

：

Zara Domain 配向膜配向弱区急速冷却

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Zara Domain是TFT-LCD(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)行业TN型产品中常见的不良,严重影响着产品的良率。本文通过对101.3mm(3.97in)TN产品的大量实验,系统分析和研究了Zara Domain问题。研究结果表明:优化产品设计、工艺参数、工艺管控都可有效地管控Zara Domain的发生率。首先通过调控矩阵工厂刻蚀工艺,确保Shield Bar坡度角保持在45°左右时,Zara Domain发生率为0%。其次在盒工

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