【摘 要】
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采用直流磁控反应溅射法分别在Al2O3陶瓷管和Si（111）基片上制备纳米TiO2薄膜。首先将样品置于马孚炉中，分别在500℃、700℃和1100℃下进行3小时退火处理，然后利用XRD测定各退火条
【基金项目】
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Natural science foundation of Hehei province（596145）
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采用直流磁控反应溅射法分别在Al2O3陶瓷管和Si（111）基片上制备纳米TiO2薄膜。首先将样品置于马孚炉中，分别在500℃、700℃和1100℃下进行3小时退火处理，然后利用XRD测定各退火条件下Ti02薄膜的晶粒尺寸和晶型，并对样品的气体敏感特性进行测试。实验结果表明：薄膜的结构、晶粒尺寸、晶相和气敏特性随着退火温度的不同而变化，经过500℃×3小时退火后的TiO2薄膜（锐钛矿相）对乙醇蒸汽的灵敏度最高，响应（恢复）时间为2-3s，并具有很好的选择性，其最佳工作温度为280℃左右。最后讨论
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