薄膜厚度对ZnO：Al透明导电膜性能的影响

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【摘要】

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铝掺杂的氧化锌(ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底(Polypro-pylene adipate, PPA)和Corning 7059玻璃上制备的.详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质

【作者】

：

郝晓涛马瑾马洪磊杨莺歌王卿璞黄树来

【机构】

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山东大学

【出处】

：

液晶与显示

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

ZNO:AL 透明导电膜薄膜厚度柔性衬底铝掺杂氧化锌结构光学性质电学性质 aluminum-doped zinc oxide film film

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铝掺杂的氧化锌(ZnO∶Al)透明导电膜是采用射频磁控溅射法在有机衬底(Polypro-pylene adipate, PPA)和Corning 7059玻璃上制备的.详细研究了薄膜的结构性质、光学和电学性质随薄膜厚度的变化关系.制备的ZnO∶Al薄膜具有(002)面的单一择优取向的多晶六角纤锌矿结构,性能优良的薄膜电阻率在两种衬底上分别为2.55×10-3Ω·cm和1.89×10-3Ω·cm,平均透射率达到了80%和85%.

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