【摘 要】
：
磁浮平面电机是一种新型的平面电机,这种平面电机可以实现在六个自由度上的运动,可实现真空条件更适合于在光刻机中使用。本文以鱼骨型动磁式磁浮平面电机为分析目标,在充分
【基金项目】
：
国家极大规模集成电路制造装备与成套工艺的国家重大科技专项（编号2009ZX02207）
论文部分内容阅读
磁浮平面电机是一种新型的平面电机,这种平面电机可以实现在六个自由度上的运动,可实现真空条件更适合于在光刻机中使用。本文以鱼骨型动磁式磁浮平面电机为分析目标,在充分了解电机气隙磁场的基础上,建立磁浮平面电机的磁场模型并进行仿真,以线圈在永磁磁场中的受力和力矩模型为重点,并结合鱼骨型线圈排列的特点对电机的解耦做了简要说明。将单个线圈进行一定程度的简化后,建立了单线圈在Halbach永磁阵列磁场中所受作用力和力矩的模型,并得出单线圈所受力和力矩的表达式,最终建立了一个较为完整的磁悬浮平面电机的模型。
其他文献
政府公信力是政府信用力量与民众信赖评价的统一,是政府影响力与感召力的综合表现,折射出民众对政府的合意度和信赖度。良好的政府公信力有利于增强政府权威,树立良好的政府
信息技术的飞速发展、竞争激烈的买方市场的形成,全球大市场和贸易体系的建立、知识经济的兴起以及社会对可持续发展和环境保护问题的日益关注,使得制造业的生产方式中有关的
油菜素类固醇参与了植物节间的发育过程，类固醇5α-还原酶基因（GhDET2）是调控该物质生物合成的一个关键基因。为了明确棉花不同株型种质GhDET2在基因组中的异同，本研究依据GenBan
文章首先阐述了建筑给水排水系统的组成与布置,包括排水通气、管道附件,然后说明了建筑给水排水工程应用节能环保措施的重要性,最后探究了建筑给水排水工程应用节能环保措施
在移动互联网快速发展的同时,移动APP应用领域越来越广泛,包括家电、食品和汽车等行业,从而使人们的生活更加便捷。基于社区服务的智能用电管理APP是电子行业新兴起来的开发
10年前,作为恩格斯名著《家庭、私有制和国家的起源》(以下简称《起源》)的学习札记,我曾发表小稿《关于原始社会的分期》。当时版面有限,刊出的只是原稿的后半部分。作为一
随着企业改革的继续深化及现代企业制度的建立,资源流动和重组对于企业发展和整个社会资源的优化配置有着重要意义。企业租赁也成为促进资源流动的一个重要形式,在企业租赁的
香蕉枯萎病是影响世界香蕉产业的毁灭性病害。本研究对香蕉枯萎病抗病品种抗枯5号香蕉、粉杂一号粉蕉和感病品种巴西香蕉和广粉一号粉蕉的幼苗根系接种后的球茎组织的进行了
民族精神是一个民族赖以生存和发展的精神动力和精神支撑,是民族文化最本质、最深刻的体现。历史和现实都告诉我们,一个民族没有振奋的精神和高尚的品格,不可能自立于世界民
随着中国加入WTO和世界经济一体化的形成,中国的企业正面临前所未有的机遇与挑战,企业间的竞争也达到前所未有的激烈程度。要想在未来的竞争中立于不败之地,人才将是其取得竞