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用L—B膜实现MIS结构的C—V特性研究
用L—B膜实现MIS结构的C—V特性研究
来源 :佳木斯工学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:seaking888
【摘 要】
:
测定了多种具有金属/L-B膜绝缘层/半导体结构的纳米厚度有机功能膜的C-V特性。研究发现C-V特性受到L-B膜的分子组分和氧化膜厚度的影响。
【作 者】
:
沈潮
张学敏
冀文芝
宫明宣
张亮
李铁津
【机 构】
:
佳木斯工学院基础部,吉林大学
【出 处】
:
佳木斯工学院学报
【发表日期】
:
1997年2期
【关键词】
:
L-B膜
MIS结构
C-V特性
硅
半导体器件
L-B film
metal/L-B film/Si laminated-layer structure
C-
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测定了多种具有金属/L-B膜绝缘层/半导体结构的纳米厚度有机功能膜的C-V特性。研究发现C-V特性受到L-B膜的分子组分和氧化膜厚度的影响。
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