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薄膜体声波谐振器（FBAR）的谐振频率会受外界环境温度的影响而产生漂移，对于FBAR滤波器而言，这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、插入损耗、带内纹波等性能发生变化，降低其在电学应用中的可靠性。应用ANSYS有限元分析软件，对一个典型Mo—AIN—Mo结构的FBAR进行温度一频率漂移特性的仿真，在-50～＋150℃温度范围内得到其温度频率系数为-33．6×10^-5／℃。通过在FBAR结构中添加一层正温度系数的补偿层，分析了补偿层厚度对FBAR温度一频率漂移特性、谐振频率和机电耦合特性的影响