凹槽栅场调制板结构AlGaN/GaN HEMT

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:simetl1235
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研制的SiC衬底上的AlGaN/GaN微波功率HEMTs,采用凹槽栅和场调制板结构有效抑制了器件的电流崩塌,提高了器件的击穿电压和器件的微波功率特性.研制的1mm栅宽器件在8GHz,34V工作电压下,饱和输出功率达到了9.05W,功率增益为7.5dB,功率附加效率为46%.
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