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Ｃ－Ｖ分析法是在半导体技术Ｃ－Ｖ分析法基础上于９０扯代发展起来测量膜厚小于２μｍ且具有ＭＯＳ结构的薄膜驻极体电荷重心及电荷密度的新方法。
以半导体为基的薄膜驻极体电荷重心及电荷密度的测量
【摘 要】
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Ｃ－Ｖ分析法是在半导体技术Ｃ－Ｖ分析法基础上于９０扯代发展起来测量膜厚小于２μｍ且具有ＭＯＳ结构的薄膜驻极体电荷重心及电荷密度的新方法。
【机 构】
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同济大学
【出 处】
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电声技术
【发表日期】
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1997年8期
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