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以半导体为基的薄膜驻极体电荷重心及电荷密度的测量
以半导体为基的薄膜驻极体电荷重心及电荷密度的测量
来源 :电声技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liujunqiang6455314
【摘 要】
:
C-V分析法是在半导体技术C-V分析法基础上于90扯代发展起来测量膜厚小于2μm且具有MOS结构的薄膜驻极体电荷重心及电荷密度的新方法。
【作 者】
:
夏钟福
丁勇军
【机 构】
:
同济大学
【出 处】
:
电声技术
【发表日期】
:
1997年8期
【关键词】
:
平均电荷重心
二氧化硅
驻极体
meanchargedepthsilicondioxideelectret
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C-V分析法是在半导体技术C-V分析法基础上于90扯代发展起来测量膜厚小于2μm且具有MOS结构的薄膜驻极体电荷重心及电荷密度的新方法。
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