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非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gudujian123456
【摘 要】
：
NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体.测试了SEAS公司的NEG组件ST707WP 1250对由80%H2和20%CO组成的混合气体的抽气性能,并和抽纯气性能进行了比较.混合气体中的NEG对H2的
【作 者】
：
陈丽萍 蒋迪奎 
【机 构】
：
上海原子核研究所
【出 处】
：
真空科学与技术学报
【发表日期】
：
2004年3期
【关键词】
：
非蒸散型吸气剂 混合气体 抽气性能 光致解吸出气 SSRF储存环 复合泵 Non evaporation getter Mixed gases Pumping 
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NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体.测试了SEAS公司的NEG组件ST707WP 1250对由80%H2和20%CO组成的混合气体的抽气性能,并和抽纯气性能进行了比较.混合气体中的NEG对H2的抽速受CO影响,随H2吸气量的增加而明显下降.混合气体中的NEG对CO的抽速不受H2影响.研究结果为SSRF储存环真空系统设计提供了重要依据.
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