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侧墙计量有望顺利迈入32nm节点
侧墙计量有望顺利迈入32nm节点
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:LQ0121
【摘 要】
:
随着技术节点的进步,AFM.CD—sEM和散射测量等备用计量技术将不断地满足测量的要求
【作 者】
:
Alexander E.Braun
【机 构】
:
SemiconductorInternational高级编辑
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2007年5期
【关键词】
:
技术节点
计量技术
侧墙
散射测量
SEM
AFM
备用
CD
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随着技术节点的进步,AFM.CD—sEM和散射测量等备用计量技术将不断地满足测量的要求
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