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本文利用Ar~ 激光倍频257.3nm进行扫描蚀刻Si、GaAs和Zn片,获得的最小光刻线宽为1.2μm,给出蚀刻深度与光强/扫描速度的关系曲线等参量,首次利用光刻技术估计卤素自由基的扩散系数、自由路程以及激光聚焦光斑大小,以及观察到阈值现象。
激光诱导直接化学光刻
【摘 要】
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本文利用Ar~ 激光倍频257.3nm进行扫描蚀刻Si、GaAs和Zn片,获得的最小光刻线宽为1.2μm,给出蚀刻深度与光强/扫描速度的关系曲线等参量,首次利用光刻技术估计卤素自由基的扩散系数、自由路程以及激光聚焦光斑大小,以及观察到阈值现象。
【机 构】
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上海激光技术研究所
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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1987年7期
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针对高速运动目标激光相干探测最大测量速度受限的问题,提出了一种四光相干混频大动态范围的多普勒测量方法。与传统激光相干探测相比,该方法可将最大测量速度提高一倍,实现高速和超高速目标的速度测量。由于四光相干混频探测系统比外差激光相干探测系统多了一束本振光,导致本振散粒噪声增加。因此,根据信噪比定义推导出四光相干混频探测系统的信噪比公式,并利用该公式从相干长度、接收孔径、失配角三个方面进行了理论和数值分析,得到了相干长度和接收孔径之间的最优关系。
报道了用TEA CO2激光诱导甲烷、乙烷等离子体化学反应生成乙炔、乙烯的实验装置和结果.甲烷转化乙炔的转变率为93%;乙烷转变为乙炔和乙烯的转变率分别为81.5%和19.3%.在甲烷、乙烷混合烃体系中,乙烷转变为乙烯的转变率为37%,并对焦点区等离子体中的化学反应过程作了初步讨论.
期刊
In the 9th laser system of Shenguang II inertial confinement fusion (ICF) facility, tunable Fabry-Perot (F-P) filter is applied to compensate the FM-AM effect. According to the technical requirements of compensation device, a precise displacement monitor
休斯飞机公司马利布研究实验室最近的研究有可能获得能在整个可见光波段调谐的固定激光器。据该实验室激光光学材料组组长L. Deshaver谈，在400~800毫微米范围调谐的激光辐射可由掺单价铜(Cu 1)的玻璃产生。这种与可调谐染料激光器相当的固态器件为军方所急需,因为它有种种应用，如做指示器，由于波长可调，能使干扰失效。休斯这项研究的资助单位是国防远景研究计划局和陆军夜视和电光学实验室。
期刊
Low-light camera is an indispensable component in various fluorescence microscopy techniques. However, choosing an appropriate low-light camera for a specific technique (for example, single molecule imaging) is always time-consuming and sometimes confusin
采用熔融淬冷法制备了GeS2-Ga2S3-KCl系统玻璃,然后测试了样品的厚度、密度、吸收光谱和透射光谱,利用经典的Tauc方程计算了样品光学带隙允许的直接跃迁。结果显示,GeS2-Ga2S3-KCl玻璃拥有较好的物理性能;样品的密度、折射率随着KCl含量增多而减小,而光学带隙则随着KCl含量增加而增大。此外,傅里叶和拉曼红外光谱仪的测试结果表明,随着KCl加入和含量的增加,玻璃基质网络结构发生变化,从而引起相应红外光学性能的改变;同时玻璃拉曼谱出现阶段性的变化,红外截止边带出现了规律性的红移。通过研究K
在某些实验中，需要简单而精确地测出固体激光器的输出能量。美帝国家标准局已研制出一种轻便量热器，在能量高达100焦耳的范围内，测量激光能量的精确度在3%以内。这种装置很紧凑，大小为14×6×6吋，重约50磅。
期刊
由相对论电子束激发稀有气体Kr和碱金属Li的混合蒸气,观察到来自Kr Li准分子离子的真空紫外发射带(147 nm和149 nm)。讨论了发射光谱的温度和气体密度依赖特性以及电子束激发的动力学过程。经理论计算,两个发射带被分别标识为(KrLi) 离子准分子的21Σ →11Σ 和11Π→11Σ 跃迁。另外,在Xe/Li混合蒸气中观察到的186 nm和189 nm辐射带也被标识为准分子离子Xe Li对应能级之间的跃迁。