【摘 要】
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利用射频磁控溅射法,以聚四氟乙烯为靶材,在聚酰亚胺(PI)薄膜上沉积纳米氟碳膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)观察了纳米氟碳膜的表面形
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利用射频磁控溅射法,以聚四氟乙烯为靶材,在聚酰亚胺(PI)薄膜上沉积纳米氟碳膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、原子力显微镜(AFM)观察了纳米氟碳膜的表面形貌.通过优化放电条件,在PI薄膜上得到了一层致密均匀的由纳米粒子组成的氟碳膜.利用X射线光电子能谱(XPS)研究了膜的结构及其对放电条件的依赖性.结果表明:这种纳米氟碳膜由-CF3, -CF2-, -CF- 和 -C- 4个组分构成.水接触角的测量数据表明:在PI基底上沉积纳米氟碳膜可以提高其憎水性能.
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