电容式Lamb波器件的信号接收方法

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 17次 | 上传用户:cairaymond
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提出了激励和接收均使用电容式叉指换能器(Capacitive Interdigital Transducers,CIDT)的集成化的电容式Lamb波器件。利用电容式叉指换能器直接激励和接收Lamb波非对称模式的方式,解决了机电耦合效率的问题。在分析各种电容检测电路的基础上,针对Lamb波电容式检测的特殊性,选择了直流电路法来进行接收电容变化规律的测量。为说明直流电路法的适用性,设计了波动检测验证实验。实验结果表明:用直流电路法测量得到的声波信号与其理论计算值之间误差仅为2.4%,证明了直流电路法的适
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