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结构紧凑的三维扫描系统及其在光热无损检测中的应用
结构紧凑的三维扫描系统及其在光热无损检测中的应用
来源 :光学仪器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hesion001
【摘 要】
:
介绍了一种结构紧凑的三维扫描系统,由计算机输入控制参数使步进电机带动三维样品台工作。各维最大扫描行程25mm,最小扫描步距2μm,全程累计误差小于1μm,该系统已成功地应用于光热偏转无
【作 者】
:
黄晓
【机 构】
:
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
:
光学仪器
【发表日期】
:
1997年6期
【关键词】
:
三维扫描系统
无损检测
光热偏转光谱
Three-dimensional Scanning Set-up
Nondestructive Detection
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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介绍了一种结构紧凑的三维扫描系统,由计算机输入控制参数使步进电机带动三维样品台工作。各维最大扫描行程25mm,最小扫描步距2μm,全程累计误差小于1μm,该系统已成功地应用于光热偏转无损检测。
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