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介绍了一种结构紧凑的三维扫描系统，由计算机输入控制参数使步进电机带动三维样品台工作。各维最大扫描行程２５ｍｍ，最小扫描步距２μｍ，全程累计误差小于１μｍ，该系统已成功地应用于光热偏转无损检测。
结构紧凑的三维扫描系统及其在光热无损检测中的应用
【摘 要】
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介绍了一种结构紧凑的三维扫描系统，由计算机输入控制参数使步进电机带动三维样品台工作。各维最大扫描行程２５ｍｍ，最小扫描步距２μｍ，全程累计误差小于１μｍ，该系统已成功地应用于光热偏转无
【机 构】
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浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1997年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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