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对ESR进行了理论分析，并进行计算机模拟分析。在此基础上提出了两种改进的ESR面型结构。模拟结果表明，最可行和有效的提高元件性能的手段是降低电极间距。文章分析了两种新的面型结构，其中两端固支模型下拉电压降为原来的60％左右。四悬臂梁结构的下拉电压仅为10V左右。
薄膜型ESR结构分析与优化
【摘 要】
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对ESR进行了理论分析，并进行计算机模拟分析。在此基础上提出了两种改进的ESR面型结构。模拟结果表明，最可行和有效的提高元件性能的手段是降低电极间距。文章分析了两种新的面
【机 构】
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兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室
【出 处】
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科学技术与工程
【发表日期】
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2009年14期
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